newAD2 - program pro optickou charakterizaci

Cvičení 1 - výpočet optických konstant a jiných veličin

V tomto prvním cvičení si ukážeme, jak spočítat optické konstanty pomocí zabudovaného dispezního modelu a jak modelovat odrazivost.

Cvičení 2 - fit odrazivosti pomocí Sellmeierovy formule

V tomto cvičení je ukázáno jak určit index lomu SiO₂ vrstvy na waferu z krystalického křemíku pomocí analýzy měření odrazivosti.

Cvičení 3 - kombinace více druhů měření

V tomto cvičení si dále ukážeme jak kombinovat různé druhy měření (konkrétně elipsometrii a odrazivost).

Cvičení 4 - modelování neuniformních vzorků

V tomto cvičení si ukážeme jak zavést neuniformitu vzorků.